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無油壓縮空氣在集成電路制造中的重要性

說起半導(dǎo)體這個詞,熟悉又陌生,上世紀(jì)80年代,人們將收音機稱為“半導(dǎo)體”,因為收音機里的很多電子元件是由半導(dǎo)體材料制造而成。那么“半導(dǎo)體”到底是什么呢?

通常來說,半導(dǎo)體是一種材料,硅是其中最主要的元素,還包括鍺、砷化鎵、碳化硅等。

將半導(dǎo)體材料經(jīng)過一系列的工藝加工制成集成電路,繼而被用在各式我們熟知的電子設(shè)備上。幾乎所有電子設(shè)備都需要半導(dǎo)體,隨著人們在衣食住行上使用的工具越來越智能化,電子設(shè)備的生產(chǎn)呈指數(shù)級增長,半導(dǎo)體制造業(yè)飛速發(fā)展,而在半導(dǎo)體生產(chǎn)中有著極為關(guān)鍵作用的壓縮空氣被大量需要。

集成電路是電子設(shè)備中極為精密的部分,一粒微小的灰塵或?qū)⒃斐烧麄€電路的失效。因此其生產(chǎn)過程需要高度專業(yè)的技術(shù)和嚴(yán)苛潔凈的環(huán)境。使用0級無油的壓縮空氣,不僅是封閉生產(chǎn)環(huán)境的高純度保證,也將促進生產(chǎn)力提升,減少因污染而造成的生產(chǎn)損失。

半導(dǎo)體制造業(yè)通用用氣品質(zhì)要求如下:

1.含油要求 0.00ppm

2.含塵要求 0.01μm

3.露點要求 -40℃至-70-°C(PDP)

4.排氣壓力 0.8-0.85MPa

主要用氣點如下:

1、儀表用氣

氣動元件、精密儀表

2、空分用氣

工藝保護用氣(制氮機)

3、工藝用氣

吹掃、清洗、冷卻、劃片、外延、刻蝕與沉積、離子注入

分選、測試、封裝、裝配、包裝、運輸和搬運、污水處理

英格索蘭為電子行業(yè)的半導(dǎo)體生產(chǎn)線提供了無油壓縮空氣系統(tǒng)及整體解決方案,其中包括:

1.無油螺桿空壓機(定頻/變頻)

2.離心式空壓機

3.過濾器、鼓風(fēng)加熱再生吸附式干燥機、壓縮熱再生吸附式干燥機等后處理產(chǎn)品

4.控制系統(tǒng)、熱回收、儲氣罐等解決方案產(chǎn)品

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